ใน "SSLCHINA 2021: ฟอรัมแอปพลิเคชันอุตสาหกรรมเทคโนโลยีมินิ / ไมโคร LED" Hu Jianzheng ผู้อํานวยการฝ่ายเทคโนโลยีกระบวนการ MOCVD ของ China Micro Semiconductor Equipment (Shanghai) Co., Ltd. ได้แบ่งปันอุปกรณ์ Prismo UniMax® MOCVD ที่ใช้สําหรับการผลิต MiniLED สีน้ําเงินและสีเขียวโดย China Micro Semiconductors (Shanghai) Co., Ltd. การพัฒนาล่าสุด
Hu Jianzheng แนะนําว่าเมื่อเทียบกับไฟ LED แบบดั้งเดิมที่ใช้สําหรับแสงเวเฟอร์ epitaxial Mini / Micro LED มีข้อกําหนดที่เข้มงวดมากขึ้นสําหรับความสม่ําเสมอของความยาวคลื่นและจํานวนอนุภาค มีความจําเป็นต้องพัฒนาแพลตฟอร์ม MOCVD ใหม่เพื่อปรับปรุงความสม่ําเสมอของความยาวคลื่นของเวเฟอร์ epitaxial และลดอนุภาค ปริมาณเพื่อให้ตระหนักถึงการประยุกต์ใช้ในเชิงพาณิชย์ของมินิ / ไมโคร LED
แพลตฟอร์ม MOCVD ล่าสุด Prismo UniMax® ที่พัฒนาโดย China Microelectronics ที่สามารถใช้สําหรับการผลิต MiniLEDs จํานวนมากผ่านการปรับสนามอุณหภูมิในท้องถิ่นและการเพิ่มประสิทธิภาพของสนามไหลไฟ LED สีเขียวแกมน้ําเงินที่ปลูกบนพื้นผิว 4 "และ 6" ได้ผลลัพธ์ที่ดี的ความสม่ําเสมอของwavelength ภายใต้เงื่อนไขของการกําหนดค่า 41×4 " ความสม่ําเสมอของความยาวคลื่นภายในและระหว่างชิป LED สีน้ําเงินก็สูงมากตามลําดับ 0.71 นาโนเมตรและ 0.87 นาโนเมตร (1σ); ภายใต้เงื่อนไขของการกําหนดค่า 10×6 " ความยาวคลื่นของชิป LED สีน้ําเงินนั้นสม่ําเสมอประสิทธิภาพสูงถึง 0.84 นาโนเมตร (1σ) และความแตกต่างสูงสุดและต่ําสุดของความยาวคลื่นของแผ่นสี่เหลี่ยม 100 มม×100 มม. ต่ําถึง 2.4 นาโนเมตร สําหรับ LED สีเขียวขนาด 6 นิ้วที่มีความยาวคลื่นเฉลี่ย 530 นาโนเมตรความสม่ําเสมอของความยาวคลื่นบนชิปคือ 1.04nm (1σ) และความแตกต่างสูงสุดและต่ําสุดของความยาวคลื่นของชิปสี่เหลี่ยม 100 มม×100 มม. คือ 4.6nm เท่านั้น
ตามเว็บไซต์อย่างเป็นทางการของ China Microelectronics ในแง่ของการกําหนดค่าอุปกรณ์ Prismo UniMax® MOCVD มีห้องปฏิกิริยามากถึง 4 ห้องซึ่งสามารถประมวลผลเวเฟอร์ epitaxial MiniLED ประสิทธิภาพสูงขนาด 4 นิ้วหรือ 40 6 นิ้ว 6 นิ้วในเวลาเดียวกัน การปรับสามารถขยายเพื่อประมวลผล 164 4 นิ้วหรือ 72 6 นิ้วเวเฟอร์ epitaxial ในเวลาเดียวกันและความสามารถในการประมวลผลยังสามารถขยายเพื่อเติบโตเวเฟอร์ epitaxial 8 นิ้ว นอกจากนี้อุปกรณ์ยังติดตั้งถาดกราไฟท์เส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่ 785 มม. ซึ่งช่วยเพิ่มกําลังการผลิตของอุปกรณ์อย่างมากและลดต้นทุนการผลิตของเวเฟอร์ MiniLED epitaxial ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
มีรายงานว่าอุปกรณ์ Prismo UniMax® MOCVD เปิดตัวอย่างเป็นทางการในเดือนมิถุนายนปีนี้และส่วนใหญ่จะใช้สําหรับการผลิตเวเฟอร์ MiniLED แบบ MiniLED ที่ใช้ GaN เป็นจํานวนมาก เมื่อวันที่ 9 ธันวาคมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ของจีนประกาศว่าคําสั่งซื้ออุปกรณ์ MOCVD ของ Prismo UniMax® มีมากกว่า 100 โพรง
เป็นที่เข้าใจกันว่า China Micro Semiconductor Equipment Co., Ltd. ก่อตั้งขึ้นในปี 2004 และมีสํานักงานใหญ่ในเซี่ยงไฮ้ ในปี 2019 มีการจดทะเบียนในคณะกรรมการนวัตกรรมวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีของตลาดหลักทรัพย์เซี่ยงไฮ้ ส่วนใหญ่มีส่วนร่วมในการวิจัยและพัฒนาการผลิตและการขายอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ระดับไฮเอนด์และอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์แพน การจัดจําหน่ายผลิตภัณฑ์ของ บริษัท มี: อุปกรณ์แกะสลัก CCP, อุปกรณ์แกะสลัก ICP, อุปกรณ์แกะสลักซิลิคอนลึก, อุปกรณ์ MOCVD, อุปกรณ์ฟอก VOC
ในหมู่พวกเขาอุปกรณ์ MOCVD ซีรีส์ Prismo ที่พัฒนาโดย China Microelectronics สามารถใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตอุปกรณ์ต่าง ๆ ตามไนไตรด์กลุ่ม III รวมถึงไฟ LED สีเขียวแกมน้ําเงินไฟ LED อัลตราไวโอเลตลึกและอุปกรณ์ไฟฟ้า ในปัจจุบันอุปกรณ์ MOCVD ของ China Micro ได้ถูกนําไปผลิตจํานวนมากในสายการผลิต LED รายใหญ่ในอุตสาหกรรม
ในปี 2020 ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ของจีนมีรายได้จากการดําเนินงาน 2.273 พันล้านหยวนเพิ่มขึ้นเมื่อเทียบเป็นรายปี 16.76%; กําไรสุทธิของบริษัทจดทะเบียนอยู่ที่ 492 ล้านหยวน เพิ่มขึ้นเมื่อเทียบเป็นรายปีที่ 161.02% ในช่วงครึ่งแรกของปี 2021 รายได้จากการดําเนินงานของ China Micro อยู่ที่ 1.339 พันล้านหยวนเพิ่มขึ้นเมื่อเทียบเป็นรายปี 36.82%; กําไรสุทธิของบริษัทจดทะเบียนอยู่ที่ 397 ล้านหยวน เพิ่มขึ้นเมื่อเทียบเป็นรายปี 233.17%
